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半自動勻膠機

簡要描述：全新外觀設(shè)計，適配實驗室實驗操作
半導(dǎo)體顯影機
*進(jìn)的設(shè)計理念，模塊化設(shè)計
可快速拆卸和替換原有功能模塊，操作便捷
支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個性化定制
可實現(xiàn)不同功能模塊的自由組合定制
配載精密的運動控制系統(tǒng)，提高實驗精度及重復(fù)性

  • 產(chǎn)品型號：AC200-CTM
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新日期：2024-08-06
  • 訪  問  量：2563

產(chǎn)品特點

全新外觀設(shè)計，適配實驗室實驗操作

*進(jìn)的設(shè)計理念，模塊化設(shè)計

可快速拆卸和替換原有功能模塊，操作便捷

支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個性化定制

可實現(xiàn)不同功能模塊的自由組合定制

配載精密的運動控制系統(tǒng)，提高實驗精度及重復(fù)性


產(chǎn)品參數(shù)

轉(zhuǎn)速范圍：20-10000rpm

轉(zhuǎn)速分辨率：±1rpm

加速度可調(diào)范圍：20-50000rpm/s

單步時長：3000s

時間分辨率：0.1s

適用基片尺寸：4/6/8寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓，非標(biāo)準(zhǔn)基片可定制載物盤

顯影噴嘴距離基片高度可調(diào)，可調(diào)范圍10-50mm

可添加背洗功能（根據(jù)客戶需求而定）




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